工商信息显示，张江高科通过全资子公司张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子装备(集团)股份有限公司(下称“上海微电子”)10.779%股权，为其第四大股东。

据悉，张江高科参与上海微电子装备的A轮融资，投资成本为2.23亿元。业内预测，考虑在不同市值和不同IPO摊薄比例的情景下，张江高科有望获得26.6亿元到54.9亿元之间的税后投资收益(所得税率按25%)。

目前，光刻机设备市场龙头集中,EUV光刻机被ASML垄断。全球光刻机出货量99%集中在ASML,尼康和佳能。其中ASML份额最高，达到67.3%。上海微电子是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业，是大陆光刻设备龙头企业，在中国大陆市场份额已经超过80%。

此前，上海微电子披露,将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机，国产光刻机从此前的90nm一举突破到28nm,极大地缩小与国际先进水平的差距。

上海微电子官网显示，公司拥有发明专利1442项,是国内工业4.0、先进制造、智能制造的典型代表。公司通过建设并参与产业知识产权联盟,进一步整合共享了大量联盟成员知识产权资源,涉及光刻设备、激光应用、检测类、特殊应用类等各大产品技术领域，全面覆盖产品的主要销售地域，使得公司竞争实力不断提升。