12月23日，江苏微导纳米科技股份有限公司（证券简称：“微导纳米”，证券代码：“688147”）正式登陆上交所！公司股票发行价格为24.21元/股，发行市盈率为412.24倍。截至今早开盘，公司股价报29.90元/股，涨幅高达23.5%，总市值达到135.9亿元。

(资料图片仅供参考)

N型迭代正当时

进入2022年以来，随着PERC电池技术的量产效率已经接近理论极限，电池片环节正迎来新一轮的技术迭代周期，光电转换效率更高的TOPCon和HJT等N型电池技术正逐步成为光伏行业的主流。

公开数据显示，截至2022年8月，TOPCon和HJT的产能规划分别超过300GW和180GW。预计至2022年末TOPCon和HJT的名义产能有望超过70GW和30GW，至2023年末将分别达到130GW和60GW。

受益于N型电池技术产业化进程不断加速，电池设备环节也逐步进入高景气周期。尤其是TOPCon，凭借经济性优势有望率先迎来扩产高峰。根据浙商证券的测算，2023年TOPCon设备市场规模将达到167亿元，2022-2025年合计高达532亿元。

在TOPCon的生产设备中，用于氧化层钝化接触结构制备的薄膜沉积设备是核心设备。目前，薄膜沉积设备主要分为LPCVD、PECVD、PEALD三种技术路线，其中技术方案最为成熟的LPCVD是市场主流，市占率超过90%。不过，由于其存在绕镀（降低良率）、石英管寿命低（增加成本）等问题，因此PECVD、PEALD等技术路线有望“后来居上”。

聚焦ALD技术

自2015年成立以来，微导纳米始终聚焦于原子层沉积（ALD）技术，并先后研发出ALD、PEALD二合一、PECVD等多款适用于光伏、半导体领域的薄膜沉积设备。截至2022年上半年，公司ALD设备、PECVD设备、PEALD二合一平台设备收入占比分别为44.18%、20.25%、32.36%。

招股说明书显示，薄膜沉积是指在基底上沉积特定材料形成薄膜，使之具有光学、电学等方面的特殊性能。按照工艺原理不同，可分为物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）设备。

在传统工艺中，由于存在厚度控制和膜层均匀性的问题，通过CVD与PVD工艺所生成的膜很难突破10nm以下的厚度极限。此外，在深宽比达到10:1以上时，CVD与PVD工艺无法保证下游工艺需要的近100%覆盖率的技术要求。而ALD工艺可以在100%阶梯覆盖率的基础上实现原子层级（1个纳米约为10个原子）的薄膜厚度。

据微导纳米介绍，ALD技术是一种特殊的真空薄膜沉积方法，具有优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和精确的膜厚控制等特点，具有较高的技术壁垒，可广泛适用于不同场景下的薄膜沉积。公司自主研发的PEALD二合一产品，集成了PEALD和PECVD两种工艺，分别用于制备隧穿层和多晶硅层，能够弥补LPCVD技术存在的不足。

业绩高速增长

凭借ALD技术的核心竞争优势，微导纳米已经获得通威股份、隆基绿能、晶澳科技、阿特斯、天合光能在内的多家知名太阳能电池片生产商的广泛认可。其中，公司应用于TOPCon新型高效电池生产线的产品已在客户现场验证。

根据招股说明书披露的数据显示，截至2022年9月末，微导纳米在手订单合计19.75亿元，其中专用设备在手订单18.56亿元，设备改造业务在手订单1.15亿元。专用设备在手订单中，ALD设备占比高达85.66%。

受益于此，微导纳米的经营业绩呈稳步增长态势。招股说明书显示，2019-2021年，公司实现营业收入2.16亿元、3.13亿元、4.28亿元；实现归母净利润5455万元、5701万元、4611万元。2022年前三季度，公司实现营业收入3.85亿元，同比增长66.80%；实现归母净利润-325.47万元，同比下降115.83%（主要受收入确认与期间费用周期不一致影响）。

微导纳米本次拟公开发行不超过10,225.0177万股A股普通股股票，计划募集资金10亿元，实际募得资金11亿元，将用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目以及补充流动资金。

（图片来源：veer图库）

关键词： 薄膜沉积 招股说明书 专用设备